手持式四探針測試儀./四探針測試儀 型號：MHY-14349

 
 手持式四探針測試儀.測量范圍寬、度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式； 
 體積僅為：185mm(長)*90mm(寬)*30mm()； 重量：350g； 
 使用鋰電池供電，次充電可連續(xù)使用100小時； 
 
  
    RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
    儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。如有需要可加配測試臺使用。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 
 
術(shù) 標 ：  
 
 測量范圍  電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；  
 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； 
 
恒源  電量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電連續(xù)可調(diào) 
數(shù)字電壓表  量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV；  
 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1%；  
 顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；性、量程自動顯示； 
四探針探頭基本標  間距：1±0.01mm；  針間緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； 
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證) 
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行)  1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 
整機測量zui大相對誤差 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% 
整機測量標準不確定度  ≤5% 
外型尺寸  185mm(長)*90mm(寬)*30mm() 
重量  350g 
電源  鋰電池，次充電可連續(xù)使用100小時； 
標準使用環(huán)境  溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強光直射